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當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂儀>HC160SE可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

簡要描述:安賽斯可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì);全彩觸屏操作;高級PLC控制;化學(xué)兼容性;高精度,高重復(fù)性

  • 產(chǎn)品型號:HC160SE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-04-16
  • 訪  問  量:2314

詳細(xì)介紹

HC150PE 可編程勻膠機(jī)(旋涂儀



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優(yōu)勢

設(shè)計(jì)緊湊,占地面積最小化

全彩色4.3英寸觸摸屏顯示屏

高密度聚乙烯(HDPE)旋轉(zhuǎn)碗化學(xué)相容性

耐用的臺式設(shè)計(jì),也可采用法蘭/甲板安裝配

高級PLC自動程序控制

電機(jī)進(jìn)膠保護(hù),管路易疏通設(shè)計(jì)


碗形設(shè)計(jì)

高密度聚乙烯(HDPE)旋轉(zhuǎn)碗

可選鋁箔一次性內(nèi)襯

透明的聚碳酸酯蓋子,美觀耐腐蝕

s可放在手套箱內(nèi),用于氣氛環(huán)境使用

旋涂碗尺寸220mm,方便操作


可編程性

觸摸屏界面和顯示器

具有全彩色字母數(shù)字功能的圖形用戶界面(GUI)

100組用戶定義配方程序,每個程序10步。

步長為0.1秒的分辨率(3000秒最大步進(jìn))

轉(zhuǎn)速:12000 rpm

旋轉(zhuǎn)速度加速度:100至30000轉(zhuǎn)/秒無負(fù)載

可選同時、自動化、點(diǎn)膠分配功能


精密度

< 1 rpm轉(zhuǎn)速可重復(fù)性:<1 rpm

< 1 rpm轉(zhuǎn)速分辨率:<1 rpm

基板尺寸:<1 cm至150 mm圓形或同等尺寸(對角線)方形樣品

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可靠性

防進(jìn)膠設(shè)置保護(hù)旋轉(zhuǎn)電機(jī)不受接觸使用工藝化學(xué)品和溶劑

真空安全檢測互鎖

業(yè)界可靠性和正常運(yùn)行時間

零件和勞動力的1年全面保修

遠(yuǎn)程技術(shù)支持(電話、電子郵件、傳真)

產(chǎn)品使用壽命的應(yīng)用程序幫助

 

產(chǎn)品外設(shè)

電壓范圍:100-125、208-240 VAC、50/60 Hz

功率要求:255瓦

真空接口:6mm

真空:-88kPa,50L/min


尺寸

• 9.84" (25cm) W × 14.09" (358cm) D × 9.90" (25.5cm) H

• Machine weight:30.8lb (14kg)

• Shipping weight: 35.2lb (16kg))

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附件

 HCV300無油真空泵1臺,抽氣速度50L/min;

標(biāo)配三只載物盤(10mm,25mm,50mm各一只),其他尺寸規(guī)格載物盤可定制;

通用電容筆1只;

產(chǎn)品合格證1份;

中文操作說明書1份



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